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風(fēng)淋室的特殊性就是造價(jià)貴,因?yàn)殡S著半導(dǎo)體工程的發(fā)展,對(duì)于工廠的品質(zhì)要求也越來(lái)越高,要了解所設(shè)計(jì)的風(fēng)淋室的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)等。
風(fēng)淋室不論外在之空氣條件如何變化,均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
風(fēng)淋室主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為風(fēng)淋室。風(fēng)淋室**主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。
當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是*然的要求。