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無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫度和濕度?主要的作用是什么，有什么措施？青島凈化工程有限公司**凈化工程裝修，為您解答一下！

無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定。在加工工藝條件下，要考慮人的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高，對(duì)工藝的溫濕度要求越來(lái)越高，應(yīng)該達(dá)到一定的溫濕度水平。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過(guò)程中，用作掩模材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)差越來(lái)越小。對(duì)于直徑為100um的硅晶圓，溫度升高1度，線性膨脹為0.24um。因此，它應(yīng)該有一個(gè)恒定的溫度±0.1度。同時(shí)要求濕度值一般較低。半導(dǎo)體車(chē)間怕鈉，這樣的車(chē)間不應(yīng)超過(guò)25度。濕度過(guò)大會(huì)造成更多問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁會(huì)凝結(jié)。如果發(fā)生在*密設(shè)備或電路中，會(huì)引起各種各樣的事故。在50%的相對(duì)濕度下容易生銹。

，對(duì)于大多數(shù)潔凈空間，為了防止外部污染的侵入，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的維持一般應(yīng)遵循以下原則:

1.高清潔度空間的壓力要高于鄰近低清潔度空間的壓力。

2.潔凈室之間的門(mén)應(yīng)向高度潔凈的房間敞開(kāi)。

3.清潔空間的壓強(qiáng)比非清潔空間的壓強(qiáng)大。

壓差的維持取決于新風(fēng)量，新風(fēng)量應(yīng)能補(bǔ)償在此壓差下從間隙漏出的空氣。因此，壓力差的物理意義是當(dāng)泄漏(或滲透)的空氣量通過(guò)潔凈室的各種間隙時(shí)的阻力。

對(duì)于亂流風(fēng)淋室，由于空氣的稀釋主要用來(lái)降低室內(nèi)污染程度，所以空氣交換頻率的概念主要用來(lái)代替速度的概念，但對(duì)于室內(nèi)空氣流速也需要滿(mǎn)足以下要求

1.出口氣流速度不宜過(guò)大。與簡(jiǎn)單的空調(diào)房間相比，需要更快的速度衰減和更大的擴(kuò)散角。

2.水平面上吹過(guò)的氣流速度(如側(cè)進(jìn)時(shí)的回流速度)不宜過(guò)大，以免吹起的表面顆?；亓鞯綒饬髦校斐啥挝廴?。這個(gè)速度一般不適合0.2m/s的干度。

在我國(guó)，《空氣清潔技術(shù)措施》和《清潔廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》都是這樣規(guī)定的

垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s