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清潔工程不僅要保障環(huán)境的清潔度，還應(yīng)控制室內(nèi)的溫度和濕度，以確保清潔工程的環(huán)境濕度一定，在規(guī)定的范圍內(nèi)保持空氣處理過(guò)程，這應(yīng)該使我們具備承擔(dān)這些費(fèi)用。但是，為什么值得在清潔項(xiàng)目上花這么多錢(qián)來(lái)控制相對(duì)濕度呢？這很簡(jiǎn)單！由于相對(duì)濕度會(huì)降低潔凈室的整體性能，因此包括以下幾個(gè)方面。

1.植物生長(zhǎng)；在相對(duì)濕度超過(guò)60％的環(huán)境中，其他生物污染物（霉菌，病毒，螨蟲(chóng)）也會(huì)繁殖。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)30％時(shí)，某些植物會(huì)生長(zhǎng)。相對(duì)濕度在40％至60％的范圍內(nèi)，其影響和呼吸道感染可以降低到相當(dāng)?shù)偷乃健?/p>

2.清潔工程人員的室溫舒適范圍；40％至60％的相對(duì)濕度范圍也是人類(lèi)舒適度的適中范圍。高濕度會(huì)使人感到悶悶不樂(lè)，而濕度低于30％會(huì)使人感到干燥，皮膚破裂，呼吸不適和情緒不適。

3.出現(xiàn)靜電；高濕度實(shí)際上減少了潔凈室表面和潔凈工程項(xiàng)目上的靜電荷積聚-這是理想的結(jié)果。較低的濕度更適合電荷積累，并成為潛在的破壞性靜電放電源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50％時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30％時(shí)，靜電荷會(huì)在*緣體或未接地的表面上長(zhǎng)期存在。35％至40％的相對(duì)濕度可以令人滿(mǎn)意地折衷。半導(dǎo)體清潔工程中，清潔室通常使用其他控件來(lái)限制靜電荷的積累。

4.金屬腐蝕；隨著相對(duì)濕度的增加，許多化學(xué)反應(yīng)（包括腐蝕）的速率將增加。潔凈室周?chē)乃斜┞队跐崈艄ぷ鞯谋砻?，即潔凈室周?chē)目諝?，都迅速被至少一層單層水覆蓋。當(dāng)這些表面由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度會(huì)加快反應(yīng)速度。幸運(yùn)的是，某些金屬（例如鋁）可以與水形成氧化物保護(hù)層，并防止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)。但是在其他情況下，例如氧化銅沒(méi)有保護(hù)作用，因此銅表面在高濕度下更容易受到腐蝕。

5.水蒸氣的冷凝；在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中，濃水的毛細(xì)作用在顆粒與表面之間形成鍵，這可以增加顆粒與硅質(zhì)表面之間的粘附力。當(dāng)相對(duì)濕度小于50％時(shí)，這種影響（開(kāi)爾文濃度）并不重要，但是當(dāng)相對(duì)濕度約為70％時(shí)，它是顆粒之間粘附的主要力量。

6.光刻技術(shù)的退化；迄今為止，光致抗蝕劑的敏感性一直是在半導(dǎo)體清潔工程和潔凈室中正確控制的迫切需求。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度的敏感性，相對(duì)濕度的控制范圍非常嚴(yán)格。

在干旱季節(jié)，在清潔工程中，靜電和粉塵的危害直接導(dǎo)致清潔工程工業(yè)產(chǎn)品出現(xiàn)各種不良后果?，F(xiàn)在通過(guò)使用工業(yè)加濕器將改善空氣濕度，即確保產(chǎn)品質(zhì)量，使人感到舒適，靜電消失，因此，清潔加濕已成為凈化工程中環(huán)境控制的必要要求。