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潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。

FFU集成電路設(shè)計優(yōu)點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等，多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)剛好可以**大化滿足這些要求。

潔凈室按照回風(fēng)特點分為三個系統(tǒng)：

1.FFU循環(huán)系統(tǒng);

2.循環(huán)空調(diào)機配合高效送風(fēng)口系統(tǒng);

3.循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和。

FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型：

1.**適合半導(dǎo)體制造業(yè)的FFU循環(huán)系統(tǒng)

FFU循環(huán)系統(tǒng)①不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求。

2.**適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)

在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設(shè)計中被廣應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)

這種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。