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潔凈室指的是將一定的空間區(qū)域內(nèi)之空氣中的塵粒、危害氣體、有害菌等之污染源排出來，并將窒內(nèi)之溫度、清潔度、窒內(nèi)的壓力、氣旋速度氣旋分散、噪聲震動(dòng)及照明設(shè)備、靜電把控在特定規(guī)范區(qū)域內(nèi)，而所給以特別制定之空間。亦便是不管外在之氣體區(qū)域環(huán)境怎么變動(dòng)，其窒內(nèi)均能俱有維系原來所設(shè)定規(guī)范之清潔度、溫濕度及的壓力等性能之特性。

潔凈室首要之功能就在于把控企業(yè)產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之空氣的清潔度日及溫濕度，使企業(yè)產(chǎn)品能在一個(gè)保持良好之區(qū)域環(huán)境空間中制造、制造，此空間大家稱作潔凈室。依照慣例，潔凈凈化等級(jí)主要是根據(jù)每立方空氣中顆粒直徑超過劃分規(guī)范的顆粒數(shù)量來規(guī)定。換句話說常說的潔凈并不是沒有一點(diǎn)兒灰塵，而是把控在一個(gè)**微量的單位上。當(dāng)然這一規(guī)范中符合灰塵規(guī)范的顆粒相比于大家常見的灰塵現(xiàn)已是小的微乎其微，但是對(duì)電子光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，就算是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都是會(huì)產(chǎn)生**大的不良影響，因此在電子光學(xué)結(jié)構(gòu)企業(yè)產(chǎn)品的制造上，潔凈是*然的規(guī)范。

每立方將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量把控在3500個(gè)以下，就達(dá)到了**潔凈規(guī)范的**。現(xiàn)階段運(yùn)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的潔凈規(guī)范對(duì)灰塵的規(guī)范高于**，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)首要被運(yùn)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5um及下列的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的千級(jí)等級(jí)。

潔凈室狀態(tài)分成下列3種類型:

空態(tài)：現(xiàn)已建造完成并能夠投入運(yùn)營的潔凈室(設(shè)備)。它具有所有潔凈室的保障和功能。但是，在潔凈室內(nèi)沒有操作人員，也沒有生產(chǎn)的設(shè)備。

靜態(tài)：各種潔凈室功能完備、設(shè)備安裝妥當(dāng)，能夠依照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)備)，但是潔凈室內(nèi)沒有操作人員。

動(dòng)態(tài)：處于正常使用的潔凈室，潔凈室功能完善，有設(shè)備和人員，如果需要可正常進(jìn)行工作。